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   系統號碼214215
   書刊名電漿技術在半導體製程上之應用與市場分析
   主要著者莊允中(化學工程)
   出版項高雄市 : 金屬工業硏究發展中心， 2000
   索書號468.2 8576
   叢書名經濟部產業技術資訊服務推廣計畫; MIRDC-0267-C307(89);經濟部科技專案成果; MIRDC-0267-C307(89)

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