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   系統號碼817556
   書刊名低壓射頻八氟環丁烷電漿沉積與加入不同反應性雙原子氣體之研究=The Investigation of Low Pressure Octafluorocyclobutane Plasma Deposition with Different Diatomic Reactive Gases
   主要著者張兆儀(1075217)
   其他著者黃駿指導
   出版項桃園縣 : 元智大學 : 張兆儀， 民109[2020]
   索書號008.8197 8755
   標題八氟環丁烷
hydrophobicity
   電子資源https://handle.ncl.edu.tw/11296/495g59
電子資源
   叢書名108學年碩士論文;元智大學化學工程與材料科學學系碩士論文

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